GTFR5280 Series(伺服馬達)
| 無塵等級5軸雙叉水平多關節型 |
使用環境
無塵室/潔淨室
單臂
臂長規格
280mm(標準)
Z軸行程
320mm
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
4kg (手臂第3關節處基準)
產品特點
對應 300 mm 5軸水平多關節型無塵室機器手臂
透過雙牙叉設計，雖然使用單臂設計，但能使用雙臂的功能
適用於300 mm 晶圓片，半導體製造設備內及EFEM中的晶圓片傳送
相較於GTCR該機器手臂，能減少動作禁止區域及速度限制影響，提升工作效能
● 定點機器手臂即可應對 3 FOUP
● 採用雙牙叉設計，縮短晶圓片更換時間
● 採用全軸絕對編碼器AC伺服馬達（無需電池）
● 晶圓保持方式：真空吸附、嵌入式、夾邊式
● 可依據被搬送物及設備需求，選擇最適合的牙叉對應
標準規格
機械手臂型號
GTFR5280-320-DM
被搬運物
～300mm晶圓
晶圓吸附方式
真空吸附式夾邊式
機械結構
5軸雙叉水平多關節型
馬達
AC伺服馬達
可動範圍
被搬運物體中心到達距離：893mm
Z軸行程 : 320mm
搬運速度
手臂(R軸)：900mm
Z軸：300mm
重複性精度
±0.05 mm以内
潔淨度
ISO標準Class 1
廠務
電源：單相AC200V±10% 2kVA
真空需求：-75kPa以上
質量
機械手臂本體大約80kg
控制器型號
C5500S
通訊方式
RS232C及並列I/O通訊
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
新竹縣竹北市嘉政九街29號1樓
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