LHR3400C シリーズ(サーボモータ仕様)
3軸円筒座標型クリーンロボット
設置環境
クリーンルーム内大気
シングルアーム
アーム長
400 mm
昇降距離
400/500/600/760/900/1500 mm
＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます
可搬質量
15 kg (第3関節換算)
製品特徴
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズです。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。
またG4世代までのガラス基板へ対応しOLEDなどの搬送としても使用できます。
Zストローク760 mm以上はZ軸が多段式のため、低パスライン化が可能です。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
● チャックには各種センサ取付可能 (アライメント、有無、マッピング等)
● 可搬質量： アーム第3関節換算15kg以下。
● 全軸ACサーボモータ使用
● 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
● 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
● ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック。
標準仕様
ロボット型式
LHR3400C-600-AM
被搬送物
730×920×1.1 mm ガラス基板(代表例)
機械構造形式
3軸円筒座標型
モータタイプ
ACサーボモータ
動作範囲
ワーク中心到達距離：1550 mm
旋回角度(θ軸)：330度
Z軸行程 : 600mm
搬送速度
アーム(R軸)：1375 mm/1.8sec
旋回角度(θ軸)：180度/1.5sec
Z軸 : 600mm / 1.7sec
繰り返し精度
±0.2mm以內
クリーン度
0.3 µm クラス10(駆動部排気時)
ユーティリティ
電源：単相 AC200V±10% 3kVA
真空：-73kPa以上質量
インタフェース
RS232C, パラレルフォトI/O
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
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