GCR4210 Series(伺服馬達)
無塵等級4軸水平多關節型
使用環境
無塵室/潔淨室
單臂
臂長規格
210mm(標準)
Z軸行程
300mm(標準)
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
4kg (手臂第3關節處基準)
產品特點
高無塵等級無塵室用GCR4000系列
採用絕對值編碼器步進馬達的高安全性、高穩定性系列。
本機種為JEL標準規格機種，亦能根據客戶設計需求展開客製化設計。
適用於300mm以下晶圓及其他各式平面搬運物。
● 僅需機械手臂即可對應SEMI標準兩Port設計
● 依照設備設計需求可選擇底邊固定或法蘭固定
● 搬運物負荷重量可達4kg（第三關節）
● 通訊方式：RS232C及並列I/O通訊
● 全軸採用使用絕對值編碼器之AC伺服馬達
● 晶圓固定方式：可選用真空吸取、邊緣夾持、柏努利等方式
標準規格
機械手臂型號
GCR4210-300-PM
被搬運物
～300mm晶圓
晶圓吸附方式
真空吸附式
機械結構
4軸水平多關節型
馬達
AC伺服馬達
可動範圍
被搬送物體中心到達距離：760mm
旋轉角度(θ軸)：335度
Z軸行程 : 300mm
搬運速度
手臂(R軸)：635mm/0.8sec
旋轉角度(θ軸)：335度/1.0sec
Z軸：300mm / 0.9sec
重複性精度
±0.1mm以內
潔淨度
ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務
電源 : 單相AC200V±10% 2kVA
真空需求 : -53kPa以上(使用真空吸附式牙叉)
質量
機械手臂本體大約37kg
控制器型號
C5000S系列
通訊方式
RS232C及並列I/O通訊
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
新竹縣竹北市嘉政九街29號1樓
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