常見問題
與我們聯繫前建議首先閱讀相關問題並準備相對應資料,收到您的訊息後客服人員或專業人員會盡快與您聯繫。
聯繫前準備
Q:與我們聯絡進行售後服務之前,需要準備什麼?
請先確認好序號(6-8位數)
如系統有出現錯誤,請提供錯誤訊息(Error code)及其他相關資訊。
Q:哪裡可以確認序號及錯誤訊息(Error code)?
產品序號(6-8位數)通常會標記在機械手臂/巡邊器下方插頭附近的位子,或是控制器有LED顯示版的那一面。
Error code會顯示在控制器的LED螢幕上
維修保養
Q:機械手臂的保養頻率?
一般建議保養週期為一年,因機種而異,請參考保養手冊。
簡易故障排除
Q:為什麼通電後控制器無法顯示?
請確認供應之電源是否為符合機械手臂要求之規格。EMG端子在OPEN的狀態下無法接通電源。
請確認是否有Interlock是否有正確的解除後,再依照使用說明書內容順序來啟動機械手臂。
Q:使用教導器變更機械手臂速度後,關機再重開時設定值並未被更新,恢復到舊的設定值?
1.請確認設定值是否超過機械手臂能設定之範圍。
2.請確認設定速度變更後是否有將設定寫入EEPROM。
(設定寫入的方法會因機種不同而有所不同,請根據使用說明書進行設定)
Q:在手臂伸直的狀態下Z軸上下移動會出現Error 08?
當手臂在伸直的狀態下,Z軸可動作範圍會受到設定限制。
請先確認使用說明書Z軸移動設定量範圍後,於範圍內設定移動量。
通訊軟體
Q:為什麼使用通訊軟體控制機械手臂卻沒有反應?
1.請確認是否同時開啟多個JELDATA3程式,請關閉到僅剩一個。
2.請確認電腦端的通訊埠是否為開啟的狀態。
3.請確認開啟的通訊埠是否違可用通訊埠。
4.請確認傳輸線規格是否符合使用說明書裡所記載之合格傳輸線。
5.請確認select switch是否在0。
6.請確認教導器電源是否正確關閉(教導器通電的情況下將無法進行通信軟體控制)。
Q:要如何備份控制器的資訊?
您可以使用傳輸軟體(JELDATA3)及通訊線將資料備份進電腦。
伯努利牙叉的原理
廠務端供應之氣體於吸盤內部圓筒狀側面的噴口高速噴出,在吸盤內部的筒狀空間內形成旋轉氣流並形成負壓(旋風效應)。上述氣流通過牙叉和晶圓表面之間之間隙吹出。氣流在旋風吸盤和晶圓之間的空間中形成穩定的氣流以造成晶圓上下表面間的壓力差以將晶圓吸附住。
特點:
根據用途可以選擇伯努利牙叉或旋風式伯努利吸盤式牙叉。
1.伯努利式
● 適用於翹曲或較薄晶圓(晶圓厚度0.2mm以下)。
● 適用於各種大小晶圓及翹曲等特殊情況之晶圓。
● 能夠降低吸附過程中晶圓所承受之應力,降低對晶圓造成損傷的機率。
● 伯努利方式設計可製作厚度更薄的牙叉。
2.旋風式伯努利吸盤式
● 使用直徑25mm,厚度2.5mm的旋風式伯努利吸盤。
● 適用於各種大小晶圓及翹曲等特殊情況之晶圓。
● 搭配限位塊使用時晶圓背面無接觸。
● 相對於一般型態伯努利牙叉具有較大吸力,取放晶圓更加精確。
邊緣夾緊式牙叉介紹
邊緣夾緊式牙叉使用方式,將晶圓片的外緣由多個夾爪固定夾緊,
晶圓片固定方式分為汽缸和彈簧等方式。
適用於
搬送時不允許接觸加工面的晶圓片,以及搬送MEMS晶圓等薄晶圓種類
真空吸附時會對吸附面產的生應力,可能會損壞晶圓時使用。
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