產品概要

產品型號 : SORTER SYSTEM
使用環境 : 無塵室/潔淨室
晶圓尺寸 : 300mm
被搬運物 : 矽晶圓
產品規格僅供參考，各型自動化設備及規格可配合客戶需求設計
Throughput : 300片/h

產品特點

• ● 符合SEMI Standard標準（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）

• ● 傳片速率快（300片/h）

• ● 通過對手臂活動範圍的規劃，能夠順暢而且高速地傳輸晶圓

• ● 配備的ID Reader可以讀取晶圓的ID資訊（正反面對應為選配件）

標準規格

對應片盒 : 300mm FOUP（25片）SEMI E47.1, E62標準品
被搬運物 : 300mm晶圓（厚度：775µm）
Throughput : 300 片/h
潔淨度 : ISO Class 2（FFU使用）
外形尺寸 : W 1250mm x D 2500mm x H 1900mm
質量 : 大約 800kg
廠務 :

● 電源：AC200V±10% 2kVA
● 乾燥空氣：0.5MPa±10%
● 真空需求：-53kPa以上

#上述規格為基本規格

產品概要

產品型號 : SORTER SYSTEM
使用環境 : 無塵室/潔淨室
晶圓尺寸 : 300mm
被搬運物 : 矽晶圓
產品規格僅供參考，各型自動化設備及規格可配合客戶需求設計
Throughput : 400片/h

產品特點

• ● 符合SEMI Standard標準（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）

• ● 傳片速率快（400片/h）

• ● 通過對手臂活動範圍的規劃，能夠順暢而且高速地傳輸晶圓

• ● 配備的ID Reader可以讀取晶圓的ID資訊（正反面對應為選配件）

標準規格

對應片盒 : 300mm FOUP（25片）SEMIE471,E62標準品

被搬運物 : 300mm晶圓（厚度:775um）

Throughput : 400 片/h

潔淨度 : ISO Class 2（FFU使用）

外形尺寸 : W 1756mm x D 1200mm x H 1901mm

質量 : 大約 600kg

廠務 :

● 電源：單相AC200V±15% 20A
● 乾燥空氣：0.7MPa〜0.4MPa
● 真空需求：-60kPa以上

#上述規格為基本規格

產品概要

產品型號 : SORTER SYSTEM
使用環境 : 無塵室/潔淨室
晶圓尺寸 : 300mm
被搬運物 : 矽晶圓
產品規格僅供參考，各型自動化設備及規格可配合客戶需求設計
Throughput : 600片/h

產品特點

● 符合SEMI Standard標準（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）

● 傳片速率快（600片/h）

● 通過對手臂活動範圍的規劃，能夠順暢而且高速地傳輸晶圓

● 配備的ID Reader可以讀取晶圓的ID資訊（正反面對應為選配件）

標準規格

對應片盒 : 300mm FOUP（25片） SEMI E47.1，E62標准品

被搬運物 : 300mm晶圓（厚度：775µm）

Throughput : 600 片/h

潔淨度 : ISO Class 2（FFU使用）

外形尺寸 : W 1233mm x D 2160mm x H 2000mm

質量 : 大約 800kg

廠務 :

● 電源：單相AC200V±15% 15A
● 乾燥空氣：0.7MPa〜0.4MPa
● 真空需求：-60kPa以上

#上述規格為基本規格

產品概要

產品型號 : SSY-20010
使用環境 : 無塵室/潔淨室
晶圓尺寸 : 300mm
被搬運物 : 矽晶圓、片間墊片
產品規格僅供參考，各型自動化設備及規格可配合客戶需求設計
可對應片盒的種類 : 300mm儲片盒、300mm片盒

產品特點

● 可安全準確的搬運儲片盒的的薄片

● 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運

● 可選裝針對減薄晶圓的柏努利牙叉

● 自動識別儲片盒內晶圓和墊紙（層間紙）

● 可自動識別晶圓高度

● 可滿足客戶對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸的需求

● 搭載儲片盒自動開蓋機構

● 可對應Achilles Corporation公司生產的儲片盒

● 配備高效過濾裝置（HEPA規格）,確保設備內部潔淨度

● 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片（片間墊紙）

標準規格

對應片盒 : 300mm儲片盒、300mm片盒
被搬運物 : 300mm矽晶圓、300mm儲片盒內墊片（片間墊片）

潔淨度 : 配備高效過濾裝置（HEPA規格),確保設備內部潔淨度

外形尺寸 : 1350（寬）x 1434（深）x 1900（高）

質量 : 大約 450kg

廠務 :

● 電源：AC200V±10%
● 乾燥空氣：0.5 MPa 250 NL/min 以上
● 真空需求：-70kPa以上

#上述規格為基本規格

產品概要

產品型號 : SORTER SYSTEM
使用環境 : 無塵室/潔淨室
晶圓尺寸 : 150mm
被搬運物 : 玻璃、藍寶石、GaAs晶片
產品規格僅供參考，各型自動化設備及規格可配合客戶需求設計
Throughput : 1400片/h

產品特點

● 配備（GCR4310-500-AM）可以在沒有機械手臂本體水平移動軸的條件下，同時滿足4個6寸晶圓盒的晶圓傳輸

● 500mm的Z軸行程可適應上下2層片盒的佈局

● 配備手指翻轉機構的機械手臂適應於在不接觸晶圓工藝表麵條件下的反裝晶圓的傳輸

● 機械手臂腕部可以安裝晶圓Mapping Sensor，用於片盒內各層晶圓的有無檢測

● 出於安全面的考慮，設備維護門上安裝有門開關傳感器，保證機械手臂動作過程中的人員安全

● 可以選裝能夠檢測玻璃（透明被搬運物）的校準器（SAL3361GR）

● 可以根據客戶端設備需求，任意修改對接模塊的設計（HOST通訊方式需要另行商議）

● 另外根據客戶需求，可定制不同規格要求的產品

標準規格

搬送物 : 150mm晶圓（玻璃、藍寶石、GaAs）
處理枚數 : 140片/h（不包括裝備的處理時間）

​

【GCR4210-500-AM】
可動範圍 : 被搬運物體中心到達距離672mm，旋轉角度(θ軸)335度，Z軸500mm，翻轉軸180度
搬運速度（平均速度）: 機械手臂550mm/sec，旋轉角度(θ軸)300度/sec，Z軸300mm/sec
搬運速度（最大速度）: 機械手臂900mm/sec，旋轉角度(θ軸)400度/sec，Z軸450mm/sec
不配備翻轉裝置 : 機械手臂1800mm/sec，旋轉角度(θ軸)540度/sec，Z軸500mm/sec（真空吸附搬運）
重複性精度 : ±0.1mm以内

【SAL3361GR】
位置精度 : 中心定位±0.2mm以內 切邊定位±0.2度以內
位置校正所需時間 : 槽口檢測3秒以內（不進行重新夾持動作）
位置校正範圍 : 半徑4mm以內

【系统】
晶圓搬運方式：真空吸附
潔淨度 : ISO Class2（ISO14644）
佔用空間 : 640mm×835mm（不包括觸摸屏）
質量 : 大約 350kg
廠務 :

● 電源：單相AC200V 15A
● 真空需求：-53kPa以上（使用真空吸附式牙叉）

#上述規格為基本規格