LHR3400C Series(伺服馬達)
無塵等級3軸圓筒座標型
使用環境
無塵室/潔淨室
單臂
臂長規格
400/500/700mm(標準)
Z軸行程
400/500/600/760/900/1500mm(標準)
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
15kg (手臂第3關節處基準)
產品特點
高無塵等級無塵室用LHR3000系列
適用於搬運玻璃基板及WLP基板。
Z軸行程760mm以上為多段式升降固可降低Pass Line高度
(Z軸行程760mm以上機種為多段式機種，照片及外觀圖會有不同)
● 機械手臂可設計各式感測器(對位、在籍、掃片等)
● 搬運物負荷重量可達15kg（第三關節）
● 全軸採用使用絕對值編碼器之AC伺服馬達
● 通訊方式：RS232C及並列I/O通訊
● 依照設備設計需求可選擇底邊固定或法蘭固定
● 晶圓固定方式：可選用真空吸取、邊緣夾持、柏努利等方式
標準規格
機械手臂型號
LHR3400C-600-AM
被搬運物
730×920×1.1mm 玻璃基板（具有代表性的標準尺寸）
機械結構
3軸圓筒座標型
馬達
AC伺服馬達
可動範圍
被搬運物體中心到達距離：1550mm
旋轉角度(θ軸)：330度
Z軸行程：600mm
搬運速度
手臂(R軸)：1375mm/1.8sec
旋轉角度(θ軸)：180度/1.5sec
Z軸：600mm/1.7sec
重複性精度
±0.2mm以內
潔淨度
0.3µm Class10 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務
電源：單相AC200V±10% 3kVA
真空需求：-73kPa以上
通訊方式
RS232C及並列I/O通訊
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
新竹縣竹北市嘉政九街29號1樓
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