MCR3160C Series(伺服馬達)
無塵等級3軸圓筒座標型
使用環境
無塵室/潔淨室
單臂
臂長規格
160mm, 200mm
Z軸行程
300mm / 400mm / 500mm
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
4kg (手臂第3關節處基準)
產品特點
高無塵等級無塵室用MCR3000系列
各軸均使用直流伺服馬達以達到高速搬送適用於高產出速度應用
● 全軸採用使用絕對值編碼器之AC伺服馬達
● 搬運物負荷重量可達4kg（第三關節）
● 通訊方式：RS232C及並列I/O通訊
● 依照設備設計需求可選擇底邊固定或法蘭固定
● 晶圓固定方式：可選用真空吸取、邊緣夾持、伯努利等方式
標準規格
機械手臂型號
MCR3160C-300-AM
被搬運物
～300mm晶圓
晶圓吸附方式
真空吸附、邊緣夾持、下托等方式
機械結構
3軸圓筒座標型
馬達
AC伺服馬達
可動範圍
被搬運物體中心到達距離：567.7mm
旋轉角度(θ軸)：340度
Z軸行程：300mm
搬運速度
手臂(R軸)：1000mm/sec
旋轉角度(θ軸)：360度/sec
Z軸：350mm/sec
重複性精度
±0.1mm以內
潔淨度
ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務
電源：單相AC200V±10% 3kVA
真空需求：-53kPa以上
控制器型號
C5000S系列
通訊方式
RS232C及並列I/O通訊
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
新竹縣竹北市嘉政九街29號1樓
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