SAL38C4HV
晶圓巡邊器
使用環境
無塵室/潔淨室
晶圓尺寸
200~300mm
被搬運物
透明、半透明矽晶圓
產品特點
多品種晶圓對應巡邊器
可對應鏡面、透明以及半透明等材質晶圓
或有翹曲及特殊規格的切角、平邊等各種產品形狀之巡邊器。
有翹曲或特殊變形及透明產品等光透過率不同的產品也有可能僅需要一台即可對應
- 可對應矽晶圓、矽晶圓貼藍膜、透明、半透明等材質晶圓
- 可對應非SEMI規格形狀之晶圓切角、切邊
- 可選擇搭配Z軸進行自動反覆巡邊操作
- 可根據晶圓尺寸及材質，更改Spindle的直徑、形狀、材質
- 可使用柏努力吸附方式
- 附有可自行簡易追加產品設定之巡邊器專用軟體
- 馬達驅動及控制器均內建於機體內
- 通訊方式：RS232C及並列I/O通訊
標準規格
晶圓巡邊器型號
SAL38C4HV
被搬運物
SEMI規格200〜300mm晶圓(透明、半透明矽晶圓)
(其他可根據特殊晶圓的形狀，材質為客戶提供彈性的定制設計)
校準時間
定位晶圓中心約 3sec（不包括晶圓的取放時間）
位置精度
晶圓中心：±0.1 mm以内
晶圓平邊（缺口）：±0.1度以内
Sensor
LED燈照明+圖像識別Sensor的方式對晶圓邊緣進行檢測
晶圓尺寸切換
指令控制方式或者通信方式
潔淨度
ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
驅動
3軸使用2相步進馬達，馬達驅動器和脈衝發生器安裝在本體內部
廠務
電源：DC24V±10% 3A
真空需求：-53kPa以上
質量
巡邊器本體大約10kg
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
新竹縣竹北市嘉政九街29號1樓
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