SAL38C4HV
アライナ
設置環境
クリーンルーム内大気
被搬送サイズ
200~300mm
被搬送物
透明, 半透明, シリコンウェーハ
製品特徴
マルチワークアライナ
鏡面、透明、半透明などの材質や反り量、規格外のノッチ・オリフラなど、
様々な形状を問わずアライメントが可能な各種ワーク対応型プリアライナ
● シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ付、透明、半透明ウェーハ対応。
● SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能。
● ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きもオプションにて設定。
● ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能
● ベルヌーイスピンドルも搭載可能
● 自分で簡単にアライメント調整ができるアライメント調整ソフトが付属。
● モータドライバ、コントローラは本体に内蔵。
● 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
標準仕様
製品型式
SAL38C4HV
被搬送物
SEMI規格 ウェーハ（透明、半透明、シリコン）200〜300 mm
（その他特殊なワーク及び材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
位置決め時間
センタリング：3 sec
位置決め精度
センタリング:±0.1 mm以内
オリフラノッチロケート：±0.1度以内
センサ
LED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出
サイズ切替
コマンド制御による切替または通信
クリーン度
ISOクラス2 (駆動部排気時)
駆動方式
2相ステッピングモータ3軸使用（モータドライバ、コントローラ内蔵）
ユーティリティ
電源：DC24V±10% 3A
真空：-53 kPa以上
質量
アライナ本体 約10 kg
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
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