お問い合わせ前に

Q.お問合せ前に、何を準備すればよいでしょうか？

ロボットのサポートに関する問い合わせをするには、製造番号(シリアル)をご確認ください。
エラーの場合は、エラー記号（エラーコード）及びエラーの内容についてお知らせください。

Q.シリアル番号とエラーコードはどこにありますか？

製造番号(シリアル)（6桁から8桁の数字）
場所：ロボット/アライナのコネクタの下付近、コントローラのLEDディスプレイのある面
エラー記号（エラーコード）
場所：コントローラのLEDディスプレイ

メンテナンス

Q: メンテンナンスする期間は？

１年がおすすめです。機種により異なります、メンテナンスマニュアルを確認してください。

トラブルシューティング

Q: 電源を入れてもコントローラの表示がしないのはなぜ？

供給電源が仕様通りの電源か確認してください。
EMG端子がOPENの場合電源が入りません。
インターロック及び電源立上手順を仕様書にて確認願います。

Q: ティーチングBOXで速度の変更しても電源を再立上すると元に戻るのはなぜ？

速度の変更にて入力した数値が設定範囲外の場合は設定できません。
また、速度設定後データの書き込みが必要です。
EEPROMに書き込む手順があります
(機種により異なりますので取扱説明書を参照願います。)

Q: アームを伸ばした状態で上下に動かすと08エラーとなることがあるのはなぜ？

アームが伸びた状態では、上下の移動量が設定によって制限されています。
動作範囲を確認し、取扱説明書に従って上下の移動設定量を検討の上、変更してください。

通信ソフトウェア

Q: 通信ソフトにて、通信レスポンスが返らないのはなぜ？

1.ソフトが複数立ち上がっていたら1つにして下さい。
2.パソコンの通信ポートがOPEN状態か確認してください。
3.また、OPENしたポートが使用可能なポートか確認してください。
4.通信ケーブルの仕様は、仕様書と同じか確認してください。
5.セレクトスイッチが0になっているか確認してください。
ティーチングBOXディスプレイの表示がOFFになっていることを確認してください。
6.ティーチングBOXがONの状態では通信できません。

Q: コントローラのデータBACK UPする方法を教えてください？

付属ソフト(JELDATA3)と専用通信ケーブルにてパソコンにデータが保存できます。

その他

Q: ボディ番号とは何のことですか？

複数のコントローラを接続する場合、どのコントローラに対して命令を出力するか認識する番号です。
標準では、ロボットは1番、アライナは2番となっています。

供給ポートから導入されたエアが円筒部側面にあるノズルから噴き出され、円筒部内部で旋回流となり真空を発生させます。
（サイクロン効果）供給エアは吸着面とウェーハの間から、大気に放出されます。
その結果、サイクロンパッドとウェーハの間にエア層が発生し、非接触での吊上げが可能になります。

製品特徴：

用途に応じてベルヌーイ方式、サイクロン方式の選択が可能です。

1.ベルヌーイ方式

● 多くのお客様のニーズにお応えし、反り・薄物ウェーハに対応した低価格チャックを開発。
● 様々なワークサイズ、形状に対応が可能です。
● ウェーハを低ストレスで保持することが可能となり、ウェーハへのダメージを最小限とします。
● ベルヌーイ方式の特徴はチャックの厚みを薄くできます。

2.サイクロン方式

● 直径25mm、厚さ2.5mmのサイクロンパッドを搭載。
● 様々なワークサイズ、形状に対応可能。
● ベルヌーイアライナにも対応可能。
● サイクロン方式の特徴はベルヌーイ方式と比べて強い保持力を有します。

エッジグリップチャックではワークの外周をチャックに取り付けられた
複数の爪（タブ）で掴み（グリップ） ワークを固定します。
エッジグリップの駆動方式にはエアシリンダ方式、スプリング方式等があります。

処理面に触れることが許されないウェーハの搬送やMEMSウェーハなど
真空吸着では吸着面にストレスがかかりダメージを受ける
可能性のある薄いウェーハの搬送に利用されます。