お問い合わせ前に

Q：お問合せ前に、何を準備すればよいでしょうか？

ロボットのサポートに関する問い合わせをするには、製造番号(シリアル)をご確認ください。
エラーの場合は、エラー記号（エラーコード）及びエラーの内容についてお知らせください。

Q：シリアル番号とエラーコードはどこにありますか？

製造番号(シリアル)（6桁から8桁の数字）
場所：ロボット/アライナのコネクタの下付近、コントローラのLEDディスプレイのある面
エラー記号（エラーコード）
場所：コントローラのLEDディスプレイ

メンテナンス

Q：メンテンナンスする期間は？

１年がおすすめです。機種により異なります、メンテナンスマニュアルを確認してください。

Q：なぜロボットアームは固定治具を装着しても、少し動いてしまうのですか？

搬送中にロボットアームのモーターを保護し、ギアの損傷を防ぐために設計されているからです。

Q：ロボット外部配線にはどのくらいの安全距離が必要ですか？

標準は270mmです。

トラブルシューティング

Q：電源を入れてもコントローラの表示がしないのはなぜ？

供給電源が仕様通りの電源か確認してください。
EMG端子がOPENの場合電源が入りません。
インターロック及び電源立上手順を仕様書にて確認願います。

Q：なぜ通電後にコントローラーのヒューズが切れるのですか？

コントローラーの電源には正極と負極があるため、接続する前に極性を確認してください。

Q：ティーチングBOXで速度の変更しても電源を再立上すると元に戻るのはなぜ？

速度の変更にて入力した数値が設定範囲外の場合は設定できません。
また、速度設定後データの書き込みが必要です。
EEPROMに書き込む手順があります
(機種により異なりますので取扱説明書を参照願います。)

Q：アームを伸ばした状態で上下に動かすと08エラーとなることがあるのはなぜ？

アームが伸びた状態では、上下の移動量が設定によって制限されています。
動作範囲を確認し、取扱説明書に従って上下の移動設定量を検討の上、変更してください。

Q：Gシリーズのロボットアームで異常を解除した後、ORG実行で原点に戻る速度が非常に遅いのはなぜですか？

Gシリーズのロボットアームには動作制限エリアがあるため、アームが制限エリアを離れると、速度は通常に戻ります。

通信ソフトウェア

Q：通信ソフトにて、通信レスポンスが返らないのはなぜ？

1.ソフトが複数立ち上がっていたら1つにして下さい。
2.パソコンの通信ポートがOPEN状態か確認してください。
3.また、OPENしたポートが使用可能なポートか確認してください。
4.通信ケーブルの仕様は、仕様書と同じか確認してください。
5.セレクトスイッチが0になっているか確認してください。
ティーチングBOXディスプレイの表示がOFFになっていることを確認してください。
6.ティーチングBOXがONの状態では通信できません。

Q：コントローラのデータBACK UPする方法を教えてください？

付属ソフト(JELDATA3)と専用通信ケーブルにてパソコンにデータが保存できます。

Q：JEL DATA3の使用方法は？

公式ウェブサイトの操作説明をご参照ください：
https://www.jel-robot.co.jp/support/migration.html

その他

Q：ボディ番号とは何のことですか？

複数のコントローラを接続する場合、どのコントローラに対して命令を出力するか認識する番号です。
標準では、ロボットは1番、アライナは2番となっています。

Q：ロボット、反転ユニット、アライナを同時に配置する場合、機体番号は何番にしますか？

ロボットを1番、反転ユニットを2番、アライナを4番にしてください。

Q：5軸水平多関節型クリーンロボット GTFRの設置完了後、通電すると異常が発生して
解除できないのはなぜですか？

5軸水平多関節型クリーンロボット GTFRにはCE安全回路使用しているため
仕様書の電気図のように設置してください。

Q：5軸水平多関節型クリーンロボット GTFRで複合コマンドが使用できないのはなぜですか？

5軸水平多関節型クリーンロボット GTFRはJEL DATA 5ソフトによる制御に変更しました
JEL DATA 5にはその機能がありません。

Q：なぜAlignerが異常を起こした際に、詳細な異常コードを確認できないのですか？

Alignerには詳細な異常コードがありません。Alignerマニュアルの専用異常コードを参照してください。

Q：なぜGCRマッピング機能にティーチングができないですか？

GCRマッピング機能にはティーチングは必要ありません。マッピング機能の詳細については
ユーザーマニュアルをご参照ください。

to01

JEL反射式マッピングセンサー紹介

JEL 対向型マッピングセンサーの紹介

水平多関節ロボットアームの紹介

ロボット(円筒座標型)と(水平多関節型)2種類があります。
半導体用各サイズのウェーハや、各サイズの角形基板などの搬送装置に使用されます。

円筒座標型紹介

円筒座標型ロボット
円筒座標型は、円筒座標系に基づいて動作するロボットです。
回転（θ軸）、上下（Z軸）、水平直線（R軸）によって、「円筒形」の作業空間を形成します。
最大の特徴は、アームが水平方向に直進退できることです。

構造の特徴

• 回転ベース：垂直軸を中心に回転可能
  
• リニアガイド：垂直方向の上下移動を実現
  
• 伸縮アーム：水平方向に直線往復運動を行う
  
• 機構設計が比較的シンプルで、制御やメンテナンスが安い

利点

• 円筒形の作業領域を効果的にカバー可能
  
• 垂直・水平の移動が単純で、積み重ね作業やワークの出し入れに適している
  
• 構造が安定しており、コストが低い
  
• 制御システムが簡単で、導入しやすい

欠点

• 動作速度や柔軟性は、SCARAや6軸アームに劣る
  
• 精度が相対的に低い
  
• 複雑な軌道や高速・高精度の用途には合わない

供給ポートから導入されたエアが円筒部側面にあるノズルから噴き出され、円筒部内部で旋回流となり真空を発生させます。
（サイクロン効果）供給エアは吸着面とウェーハの間から、大気に放出されます。
その結果、サイクロンパッドとウェーハの間にエア層が発生し、非接触での吊上げが可能になります。

製品特徴：

用途に応じてベルヌーイ方式、サイクロン方式の選択が可能です。

ベルヌーイ方式

• 多くのお客様のニーズにお応えし、反り・薄物ウェーハに対応した低価格チャックを開発。
• 様々なワークサイズ、形状に対応が可能です。
• ウェーハを低ストレスで保持することが可能となり、ウェーハへのダメージを最小限とします。
• ベルヌーイ方式の特徴はチャックの厚みを薄くできます。

サイクロン方式

• 直径25mm、厚さ2.5mmのサイクロンパッドを搭載。
• 様々なワークサイズ、形状に対応可能。
• ベルヌーイアライナにも対応可能。
• サイクロン方式の特徴はベルヌーイ方式と比べて強い保持力を有します。

エッジグリップチャックではワークの外周をチャックに取り付けられた
複数の爪（タブ）で掴み（グリップ） ワークを固定します。
エッジグリップの駆動方式にはエアシリンダ方式、スプリング方式等があります。

処理面に触れることが許されないウェーハの搬送やMEMSウェーハなど
真空吸着では吸着面にストレスがかかりダメージを受ける
可能性のある薄いウェーハの搬送に利用されます。

※粒子サイズと用途の対応表
粒子サイズ 用途例・説明

≥0.5μm 半導体製造・光学組立の標準基準
≥0.3μm 医療機器・製薬分野の高クリーン度要求
≥5μm GMPに基づく製薬業界の一般的な管理対象粒子

※備考

• ISO 14644-1：国際的なクリーンルームの標準。現在の主流規格であり、半導体・光電・製薬など多くの業界で使用。
• FED STD 209E：アメリカの旧規格。ISO規格に置き換えられているが、いまだ一部の業界では使用例あり。
• EU GMP 分類：製薬業界でのクリーンルーム管理に使用されるグレード分類（A〜D）。動的環境での基準を記載。