製品概要

製品型式: SORTER SYSTEM
設置環境: クリーンルーム内大気

被搬送サイズ: 300mm
被搬送物: シリコンウェーハ
製品仕様は参考用です。 お客様のニーズに応じて、
さまざまなタイプおよび仕様の自動化装置を設計できます。
スループット : 300枚/h

製品特徴

• ● SEMI Standardに準拠 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)

  • ● 高スループットを実現 (300枚/h)
  • ● ロボットアームの可動範囲設計により、スムーズかつ高速なウエハ搬送を実現
  • ● IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能 (表裏対応はオプション)

標準仕様

対象キャリア : 300 mm FOUP（25枚） SEMI E47.1, E62準拠品

対象ウェーハ: 300 mmシリコンウェーハ 厚さ775µm

スループット : 300 片/h
クリーン度 : ISOクラス2（FFU搭載時）

外形寸法 : W 1250mm x D 2500mm x H 1900mm
質量 : 約 800kg
ユーティリティ :

• ● 電源：単相 AC200V±10% 2 kVA
  ●ドライエア：0.5MPa±10%
• ● 真空：-53 kPa以上

#上記仕様は基本仕様です

製品概要

製品型式: SORTER SYSTEM
設置環境: クリーンルーム内大気

被搬送サイズ: 300mm
被搬送物: シリコンウェーハ
製品仕様は参考用です。 お客様のニーズに応じて、
さまざまなタイプおよび仕様の自動化装置を設計できます。
スループット : 400枚/h

製品特徴

• • ● SEMI Standardに準拠 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
  • ● 高スループットを実現 (400枚/h)
  • ● ロボットアームの可動範囲設計により、スムーズかつ高速なウエハ搬送を実現
  • ● IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能 (表裏対応はオプション)

標準仕様

対象キャリア : 300 mm FOUP（25枚） SEMI E47.1, E62準拠品

対象ウェーハ: 300 mmシリコンウェーハ 厚さ775µm

スループット : 300 片/h
クリーン度 : ISOクラス2（FFU搭載時）

外形寸法 : W 1756mm x D 1200mm x H 1901mm

質量 : 約 600kg

ユーティリティ :

• ● 電源：単相 AC200V±15% 20A
  ● ライエア：0.7MPa〜0.4MPa
  ● 真空：-60kPa以上

#上記仕様は基本仕様です

製品概要

製品型式: SORTER SYSTEM
設置環境: クリーンルーム内大気

被搬送サイズ: 300mm
被搬送物: シリコンウェーハ
製品仕様は参考用です。 お客様のニーズに応じて、
さまざまなタイプおよび仕様の自動化装置を設計できます。
スループット : 600枚/h

製品特徴

● SEMI Standardに準拠 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)

• ● 高スループットを実現 (600枚/h)
• ● ロボットアームの可動範囲設計により、スムーズかつ高速なウエハ搬送を実現

● IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能 (表裏対応はオプション)

標準仕様

対象キャリア : 300 mm FOUP（25枚） SEMI E47.1, E62準拠品

対象ウェーハ: 300 mmシリコンウェーハ 厚さ775µm

スループット : 600 片/h
クリーン度 : ISOクラス2（FFU搭載時）

外形寸法 : W 1233mm x D 2160mm x H 2000mm

質量 : 約 800kg
ユーティリティ :

• ● 電源：単相 AC200V±15% 15A
  ● ドライエア：0.7MPa〜0.4MPa
• ● 真空：-60kPa以上

#上記仕様は基本仕様です

製品概要

製品型式 : SSY-20010
設置環境 : クリーンルーム内大気

被搬送サイズ : 300mm
被搬送物 : シリコンウェーハ, プロトススペーサ（層間紙）
製品仕様は参考用です。 お客様のニーズに応じて、
さまざまなタイプおよび仕様の自動化装置を設計できます。

対応カセット : 300 mm カセット, 300 mm プロトスキャリア

製品特徴

• ● プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送 。
• ● プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載
• ● ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
• ● ウェーハとプロトススペーサ（層間紙）を自動識別
• ● ワークの高さを自動認識
• ● 複数カセット及び各インチサイズにも個別対応
• ● プロトスキャリア蓋の自動開閉機構搭載
• ● アキレス社製プロトスキャリア対応
• ● ファンフィルタユニット（HEPA仕様）を配置し、クリーン度を確保
• ● カラーセンサ搭載により、色の異なるプロトススペーサ（層間紙）も検出可能（事前にご相談ください）

標準仕様

対応カセット : 300mmプロトスキャリア、300mmカセット（FOUP）

搬送物 : 300mmシリコンウェーハ、300mmプロトススペーサ（層間紙）

クリーン対応 : ファンフィルタユニット1基搭載により、クリーン度確保

外形寸法 : W 1350mm x D 1434mm  x H 1900mm

質量 : 約 450kg

ユーティリティ :

• ● 電源：AC200V±10%
• ● クリーンエア： 0.5MPa　250NL/min以上
  ● 真空： -70kPa以上

#上記仕様は基本仕様です

製品概要

製品型式 : SORTER SYSTEM
設置環境 : クリーンルーム内大気

被搬送サイズ : 150mm
被搬送物 : ガラス, サファイア, GaAsウェーハ
製品仕様は参考用です。 お客様のニーズに応じて、
さまざまなタイプおよび仕様の自動化装置を設計できます。
スループット : 140 枚/h（装置側の処理時間は含みません）

製品特徴

● 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能

• ● Z軸ストローク500 mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能
• ● ロボットに反転軸を搭載することにより、下面処理の場合でも、処理面に接触することなく搬送が可能
• ● リストブロック部にマッピングセンサを搭載し、カセット内のウェーハを検出
• ● 開閉ドアは開閉検出センサを設け、ロボット動作中はロックされ安全面にも配慮
• ● ガラス(透明ワーク)対応アライナ搭載(SAL3361GR)
• ● お客様の装置との取り合いは任意に変更可能(HOST通信については別途対応）

● お客様の要求仕様に合わせたカスタマイズが可能

標準仕様

搬送物 : 150 mmウェーハ（ガラス, サファイア, GaAs）

処理枚数 : 140枚/h (装置側の処理時間は含みません)

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【GCR4210-500-AM】

動作範囲 : ワーク中心距離.672mm，旋回角度(θ軸).335度，Z軸.500mm，反転軸.180度
搬送速度(平均速度) : アーム.550mm/sec，旋回角度(θ軸).300度/sec，Z軸.300mm/sec
搬送速度(最大速度) : アーム.900mm/sec，旋回角度(θ軸).400度/sec，Z軸.450mm/sec
不配備翻轉裝置 : アーム.1800mm/sec，旋回角度(θ軸).540度/sec，Z軸.500mm/sec

繰り返し精度 : ±0.1mm以内

【SAL3361GR】

位置決め精度 : センタリング ±0.2 mm以内 オリフラロケート ±0.2度以内
位置決め時間 : ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作なしの場合)

位置補正範囲 : 半径4mm以内

【システム】
ワーク保持方式：吸着による保持
クリーン度 : ISO Class2（ISO14644）
フットプリント: 640mm×835mm（タッチパネルを除く）
質量 : 約 350kg
ユーティリティ :

• ● 電源：単相 AC200V 15A 
  ● 真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)

#上記仕様は基本仕様です