SCR3160CS Series(步進馬達)
無塵等級3軸圓筒座標型
使用環境
無塵室/潔淨室
單臂
臂長規格
100/130/160/200mm(標準)
Z軸行程
200/300mm(標準)
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
3kg (手臂第3關節處基準)
產品特點
高無塵等級無塵室用SCR3000CS系列
採用開迴路控制步進馬達之高安全性，高穩定性系列機種。
本機種為JEL標準規格機種，亦能根據客戶設計需求展開客製化設計。
適用於300mm以下晶圓及其他各式平面搬運物。
● 可根據搬運物及設備之尺寸搭配最適合之牙叉
● 與JEL舊型SHR系列機種具有互換性，既有設備需進行機械手臂更新時可順利替換
● 搬運物負荷重量可達3Kg（第三關節）
● 全軸採用2相步進馬達
● 通訊方式：RS232C及並列I/O通訊
● 依照設備設計需求可選擇底邊固定或法蘭固定
● 晶圓固定方式：可選用真空吸取、邊緣夾持、柏努利等方式
標準規格
機械手臂型號
SCR3160CS-300-PM
被搬運物
～300mm晶圓
晶圓吸附方式
真空吸附式
機械結構
3軸圓筒座標型
馬達
步進馬達
可動範圍
被搬運物體中心到達距離：502.7mm
旋轉角度(θ軸)：340度
Z軸行程：300mm
搬運速度
手臂(R軸)：610mm/sec
旋轉角度(θ軸)：340度/sec
Z軸：250mm/sec
重複性精度
±0.1mm以內
潔淨度
ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務
電源：DC24V±10% 15A
真空需求：-53kPa以上
質量
機械手臂本體大約25kg
控制器型號
C4000系列
通訊方式
RS232C及並列I/O通訊
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
新竹縣竹北市嘉政九街29號1樓
JEL Automation Co.,Ltd
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