STCR4160SN Series(閉迴路步進馬達)
無塵等級4軸雙臂圓筒座標型
使用環境
無塵室/潔淨室
雙臂
臂長規格
100/130/160/200mm(標準)
Z軸行程
200/300mm(標準)
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
3kg (手臂第3關節處基準)
產品特點
高無塵等級無塵室用STCR4000SN系列
採用閉迴路步進馬達，具有不易發生馬達失步之優點，
同時使用不需要記憶電池之絕對編碼器。
具有搬運的多樣性，優越的便利性及能安全、穩定地搬運產品之特點。
適用於300mm以下晶圓及其他各式平面搬運物。
● 使用雙臂設計以縮短晶圓交換時間
● 採用閉迴路步進馬達，負載有突然的變動或是瞬間的加速也不易發生馬達失步
● 搭配機械式多迴轉絕對感應器，不需要記憶電池
● 亦可根據需求設計成類似多關節水平搬運動作設計以對應平行配置工作站
● 與JEL舊型STHR系列機種具有互換性，既有設備需進行機械手臂更新時可順利替換STCR4000S系列及STCR4000SN系列之間亦有互換性
● 搬運物負荷重量可達3Kg（第三關節）
● 通訊方式：RS232C及並列I/O通訊
● 依照設備設計需求可選擇底邊固定或法蘭固定
● 晶圓固定方式：可選用真空吸取、邊緣夾持、柏努利等方式
標準規格
機械手臂型號
STCR4160SN-300-CM
被搬運物
～300mm晶圓
晶圓吸附方式
真空吸附式
機械結構
4軸雙臂圓筒座標型
馬達
閉迴路步進馬達
可動範圍
被搬運物體中心到達距離:575mm
旋轉角度(θ軸):340度
Z軸行程:300mm
搬運速度
手臂(R軸):570mm/sec
旋轉角度(θ軸):220度/sec
Z軸:200mm/sec
重複性精度
±0.1mm以內
潔淨度
ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務
電源：DC24V±10% 10A
真空需求：-53kPa以上
質量
機械手臂本體大約30kg
控制器型號
C4000B系列
通訊方式
RS232C及並列I/O通訊
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
新竹縣竹北市嘉政九街29號1樓
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