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System
Stable, Precise, and Highly Integrable Systems
SORTER SYSTEM 400片/h
4 FOUP 對向擺放 400片/h
- 產品概要
- 產品型號 : SORTER SYSTEM
- 使用環境 : 無塵室/潔淨室
- 晶圓尺寸 : 300mm
- 被搬運物 : 矽晶圓
- 處理片數 : 400片/h
＊產品規格僅供參考，各型自動化設備及規格可配合客戶需求設計
產品特點
- 符合SEMI Standard標準（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）
- 傳片速率快（400片/h）
- 通過對手臂活動範圍的規劃，能夠順暢而且高速的傳輸晶圓
- 配置的ID Reader可以讀取晶圓的ID資訊（正反面對應為選配件）
標準規格
| 產品型號 | SORTER SYSTEM 400片/h | ||
|---|---|---|---|
| 對應片盒 | 400mm FOUP（25片）SEMI E47.1, E62標準品 | ||
| 被搬運物 | 300mm晶圓（厚度：775µm） | ||
| Throughput | 400 片/h | ||
| 潔淨度 | ISO Class 2（FFU使用） | ||
| 外形尺寸 | W 1756mm x D 1200mm x H 1901mm | ||
| 質量 | 大約 600kg | ||
| 廠務 | 電源：AC200V±15% 20A 乾燥空氣：0.7MPa～0.4MPa 真空需求：-60kPa以上 |
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＊上述規格為基本規格