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System
Stable, Precise, and Highly Integrable Systems
SSY-11010
儲片盒內晶圓的自動搬運系統
- 產品概要
- 產品型號 : SSY-11010
- 使用環境 : 無塵室/潔淨室
- 晶圓尺寸 : 200mm
- 被搬運物 : 矽晶圓、片間墊片
- 可對應片盒的種類 : 200mm儲片盒、200mm片盒
＊我司可以針對客戶對晶圓尺寸，儲片盒、片盒數量、是否需要校準器等不同需求提供客製化設計。
可對應多家廠商規格的儲片盒。更多資訊請聯繫敝司。
產品特點
能夠高精度完成搬運儲片盒、晶圓盒內的減薄晶圓的自動搬運。
搭載儲片盒自動開蓋機構（已申請專利）。
- 自動辨識儲片盒內晶圓和墊紙（層間紙）
- 一台設備可以完成打包拆包的功能
- 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運
- 可選裝針對減薄晶圓的伯努利牙叉
- 可自動辨識晶圓高度
- 可滿足顧客對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸的需求
- 可對應Achilles Corporation公司生產的儲片盒
- 配備2套高效能過濾裝置（HEPA規格），確保設備內部潔淨度
- 配備顏色視覺感應器，能夠分辨不同顏色的墊片（片間墊紙）
標準規格
| 產品型號 | SSY-11010 | ||
|---|---|---|---|
| 對應片盒 | 200mm儲片盒、200mm片盒 | ||
| 被搬運物 | 200mm矽晶圓、200mm儲片盒內墊片（片間墊片） | ||
| 潔淨度 | ISO標準 Class 2 | ||
| 外形尺寸 | W 1600mm x D 1305mm x H 1800mm | ||
| 質量 | 大約 700kg | ||
| 廠務 | 電源：AC200V±10% 潔淨氣源：0.5 MPa 150 NL/min 以上 |
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＊我司可以針對客戶對晶圓尺寸、儲片盒數量、片盒數量、是否需要校準器等不同需求提供客製化設計。