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System
高い安定性と精度を備えた統合ソリューション
SORTER SYSTEM 400枚/h
4ポート対向タイプ 400枚/h
- 製品概要
- 製品型式 : SORTER SYSTEM
- 設置環境 : クリーンルーム内大気
- 被搬送サイズ : 300mm
- 被搬送物 : シリコンウェーハ
- スループット : 400枚/h
＊製品仕様は参考用です。 お客様のニーズに応じて、 さまざまなタイプおよび仕様の自動化装置を設計できます。
製品特徴
- SEMI Standardに準拠 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
- 高スループットを実現 (400枚/h)
- ロボットアームの可動範囲設計により、スムーズかつ高速なウエハ搬送を実現
- IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能 (表裏対応はオプション)
標準仕様
| 製品型式 | SORTER SYSTEM 400枚/h | ||
|---|---|---|---|
| 対象キャリア | 300 mm FOUP（25枚） SEMI E47.1, E62準拠品 | ||
| 対象ウェーハ | 300 mmシリコンウェーハ 厚さ775µm | ||
| スループット | 400 片/h | ||
| クリーン度 | ISOクラス2（FFU搭載時） | ||
| 外形寸法 | W 1756mm x D 1200mm x H 1901mm | ||
| 質量 | 約 600kg | ||
| ユーティリティ | 電源：単相 AC200V±15% 20A ドライエア：0.7MPa～0.4MPa 真空：-60 kPa以上 |
||
※上記仕様は基本仕様です