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System
高い安定性と精度を備えた統合ソリューション
SSY-11010
プロトスキャリア対応自動移載システム
- 製品概要
- 製品型式 : SSY-11010
- 設置環境 : クリーンルーム内大気
- 対応カセット : 200 mm カセット、200 mm プロトスキャリア
- 被搬送サイズ : 200 mm
- 被搬送物 : シリコンウェーハ, プロトススペーサ（層間紙）
＊ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。プロトスキャリアは各社対応致します。詳細はお問合せください。
製品特徴
プロトスキャリア、ウェーハカセット内の薄物ウェーハを高精度に自動搬送。
プロトスキャリア蓋の自動開閉機構搭載（特許出願中）。
- プロトスキャリアにある、ウェーハとプロトススペーサ（層間紙）を自動識別
- パッケージ、アンパッケージ共に1台で対応可能です。
- プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載
- ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
- ワークの高さも自動認識
- 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応
- アキレス社製プロトスキャリア対応
- ファンフィルタユニット（HEPA仕様）を2基配置し、クリーン度を確保
- カラーセンサ搭載により、色の異なるプロトススペーサ（層間紙）も検出可能
標準仕様
| 製品型式 | SSY-11010 | ||
|---|---|---|---|
| 搬送物 | 200 mm シリコンウェーハ, 200 mm プロトススペーサ（層間紙） | ||
| 対応カセット | 200 mm プロトスキャリア、200 mm カセット | ||
| クリーン度 | ISOクラス2 | ||
| 外形寸法 | W 1600 x D 1305 x H 1800（mm） | ||
| 質量 | 約 700kg | ||
| ユーティリティ | 電源：AC200V±10% クリーンエア：0.5 MPa 150 NL/min以上 |
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※ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。