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System
高い安定性と精度を備えた統合ソリューション
SSY-20010
プロトスキャリア対応自動移載システム
- 製品概要
- 製品型式 : SSY-20010
- 設置環境 : クリーンルーム内大気
- 被搬送サイズ : 300mm
- 被搬送物 : シリコンウェーハ, プロトススペーサ（層間紙）
- 対応カセット : 300 mm カセット、300 mm プロトスキャリア
＊ワークサイズ、プロトスキャリア数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。プロトスキャリアは各社対応致します。詳細はお問合せください。
製品特徴
プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送。
- プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載
- ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
- ウェーハとプロトススペーサ（層間紙）を自動識別
- ワークの高さを自動認識
- 複数カセット及び各インチサイズにも個別対応
- プロトスキャリア蓋の自動開閉機構搭載
- アキレス社製プロトスキャリア対応
- ファンフィルタユニット（HEPA仕様）を配置し、クリーン度を確保
- カラーセンサ搭載により、色の異なるプロトススペーサ（層間紙）も検出可能（事前にご相談ください）
標準仕様
| 製品型式 | SSY-20010 | ||
|---|---|---|---|
| 対応カセット | 300mmプロトスキャリア、300mmカセット（FOUP） | ||
| 搬送物 | 300 mm シリコンウェーハ、300 mm プロトススペーサ（層間紙） | ||
| クリーン度 | ファンフィルタユニット1基搭載により、クリーン度確保 | ||
| 外形寸法 | W 1350mm x D 1434mm x H 1900mm | ||
| 質量 | 約 450kg | ||
| ユーティリティ | 電源：AC200V±10% クリーンエア： 0.5MPa 250NL/min以上 真空： -70kPa以上 |
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＊ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。