SAL3484HV

Name: SAL3484HV
SKU: 92

マルチワークウェーハ用アライナ

SAL3484HV

クリーンルーム内大気

100 mm〜200 mm

各種ウェーハに対応した100〜200 mm新型アライナ。

シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵

ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能
ベルヌーイスピンドルも搭載可能

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能

ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きもオプションにて設定しています

製品型式	SAL3484HV
被搬送物	SEMI規格ウェーハ（透明、半透明、シリコン）100〜200 mm （その他特殊なワーク及び材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
位置決め時間	センタリング：3 sec
位置決め精度	センタリング:±0.1 mm以内オリフラノッチロケート：±0.1度以内
センサ	LED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出
サイズ切替	コマンド制御による切替または通信
クリーン度	ISOクラス2 （駆動部排気時）
駆動方式	2相ステッピングモータ3軸使用（モータドライバ、コントローラ内蔵）
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上

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