STVCR4160

4軸円筒座標型クリーンロボット

特徴: 真空対応4軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。; 従来型STVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。; 更に従来型STVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。; アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

STVCR4160

磁性流体シール及びフィルタにより対策
真空部：温度 15℃～50℃
駆動部：（クリーンルーム内大気）温度 15℃～40℃

2 kg以下（第3関節換算）

真空対応4軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

従来型STVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。

更に従来型STVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。

アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

アームバリエーション：160 mm、190 mm、260 mm

アーム関節部には、磁性流体シール装備

真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用

クリーン対応：アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備

ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

2相ステッピングモータ仕様も選択可能

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

ウェーハ保持：落し込み、自重グリップチャック

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	STVCR4160-050-AM
搬送対象物	～300mm ウェーハ
機械構造	4軸円筒座標型
モータ	ACサーボモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：600 mm 旋回角度（θ軸）：330度上下ストローク（Z軸）：50 mm
搬送速度	アーム（R軸）：520 mm/2.0sec 旋回角度（θ軸）：330度/2.7sec 上下ストローク（Z軸）：50 mm/1.5sec
分解能	アーム（R軸）：4.91 µm以下旋回角度（θ軸）：0.00088度上下ストローク（Z軸）：0.488µm
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度	1.33×10^-6Pa
ユーティリティ	電源：単相 AC200V±10% 1kVA

＊本仕様はSTVCR4160-050-AMの代表的な仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。

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