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High-Tech Manufacturing
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步進馬達
SCR3130CS
3軸圓筒座標無塵室用機械手臂
- 特點
- 適用於無塵室的3軸圓筒座標型機械手臂。
- 適用於在EFEM、半導體製造設備、檢測設備等中搬運晶圓。
產品介紹
型號名稱
SCR3130CS
使用環境
ISO標準Class 2 無塵室/潔淨室
升降軸可選用行程（Z軸）
200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
3kg （手臂第３關節處基準）
產品特點
適用於無塵室的3軸圓筒座標型機械手臂。
適用於在EFEM、半導體製造設備、檢測設備等中搬運晶圓。
- 臂長規格：100 mm、130 mm、160 mm、200 mm
- 適應設備需求可以選擇底座固定方式或法蘭固定方式
- 配置動作監視器
- 控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式
- 全軸均採用兩相步進電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度的搬運半導體晶圓
- 晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式
- 牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質
- 可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最優的牙叉
標準規格
| 機械手臂型號 | SCR3130S-200-PM | ||
|---|---|---|---|
| 牙叉固定塊 | SARS00169 | ||
| 牙叉 | SC-YW-240 | ||
| 被搬運物 | ～12吋晶圓 | ||
| 晶圓吸附方式 | 真空吸附式 | ||
| 機械結構 | 3軸圓筒座標型 | ||
| 馬達 | 步進馬達 | ||
| 可動範圍 | 被搬送物體中心到達距離：492.7 mm 旋轉角度(θ軸)：340度 升降（Z軸） : 200 mm |
||
| 搬運速度（平均） | 手臂（R軸）：500 mm/sec 旋轉角度（θ軸）：340度/sec 升降（Z軸）：200 mm/sec |
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| 搬運速度（最大） | 手臂（R軸）：1000 mm/sec 旋轉角度（θ軸）：500度/sec 升降（Z軸）：250 mm/sec |
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| 重複性精度 | ±0.1mm以內 | ||
| 潔淨度 | ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | ||
| 廠務 | 電源 : DC24V±10% 15A 真空需求 : -53kPa以上(使用真空吸附式牙叉) |
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| 質量 | 機械手臂本體大約20kg | ||
| 控制器型號 | C4000系列 | ||
| 通訊方式 | RS232C及並列I/O通訊 | ||
＊上述規格為本司使用標準真空吸附方式牙叉情況下的標準機械手臂規格的一個範例
