SCR3100S

3軸圓筒座標無塵室用機械手臂

特點: 適用於無塵室3軸圓筒座標機械手臂SCR3100S系列。; 適用於半導體生產設備內部、檢測設備等4吋以下小尺寸晶圓搬運，透過優化機械手臂空間尺寸，有利於實現設備小型化。

SCR3100S

ISO標準Class 2 無塵室/潔淨室

200mm / 300mm

＊可根據設備規格需求變更設計

0.5kg以下（手臂第３關節處基準）

適用於無塵室3軸圓筒座標機械手臂SCR3100S系列。

適用於半導體生產設備內部、檢測設備等小尺寸晶圓搬運，透過優化機械手臂空間尺寸，有利於實現設備小型化。

提高潔淨度的方法：手臂內部排氣口安裝0.1µm級過濾器

適應設備需求可以選擇底座固定方式或法蘭固定方式

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用2相步進馬達

S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度的搬運半導體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式、下托式、邊緣夾持式

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對搬運物體、客戶設備佈局的實際狀況提供最佳的牙叉

機械手臂型號	SCR3100S-200-PM
牙叉固定塊	SARS00169
牙叉	3D-02535
被搬運物	～6吋晶圓
晶圓吸附方式	真空吸附式
機械結構	3軸圓筒座標型
馬達	步進馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：397.7mm 旋轉角度（θ軸）：340度升降（Z軸） : 200mm
搬運速度（平均）	手臂（R軸）：330mm/sec 旋轉角度（θ軸）：280度/sec 升降（Z軸）：130mm/sec
搬運速度（最大）	手臂（R軸）：500mm/sec 旋轉角度（θ軸）：480度/sec 升降（Z軸）：170mm/sec
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務	電源：DC24V±10% 8A 真空：-53kPa以上
質量	機械手臂本體大約37kg
控制器型號	C4000
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊

＊上述規格為本司使用標準真空吸附方式牙叉情況下的標準機械手臂規格的一個範例

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