STVCR4190

4軸圓筒座標無塵室用機械手臂

特點: 使用於於真空環境的四軸圓筒座標機械手臂可用於在真空腔室內輸送晶圓。; 與傳統的STVHR相比，其乘載能力翻倍，性價比極高。; 此外，它與傳統的STVHR安裝相容，可實現平穩的傳輸。; 採用帶有絕對編碼器的伺服馬達，無需返航。

STVCR4190

採用磁性流體密封和過濾器的對策
真空部：溫度 15℃～50℃
驅動部：（無塵室/潔淨室）溫度 15℃～40℃

3kg （手臂第３關節處基準）

使用於真空環境的四軸圓筒座標機械手臂可用於在真空腔室內輸送晶圓。

與傳統的STVHR相比，其乘載能力翻倍，性價比極高。

此外，它與傳統的STVHR安裝相容，可實現平穩的傳輸。

採用帶有絕對編碼器的伺服馬達，無需返航。

臂長規格：160 mm、190 mm、260 mm

臂關節配置磁流體密封

真空密封：採用磁流體密封和波紋管

潔淨度相容：配備 5µm 網狀過濾器，用於臂內排氣

雙臂設計縮短晶圓更換時間

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用絕對值編碼器規格的AC伺服馬達

S 曲線加減速控制，實現高速、高精度晶圓輸送

另有２相步進馬達規格可選

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

晶圓固定方式：下托式、重力夾持式

可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉

機械手臂型號	STVCR4190-050-AM
被搬運物	～12吋晶圓
晶圓吸附方式	下托式、重力夾持式
機械結構	4軸圓筒座標型
馬達	AC伺服馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：380mm 旋轉角度（θ軸）：330度升降（Z軸） : 50mm
搬運速度	手臂（R軸）：340mm/sec 旋轉角度（θ軸）：120度/sec 升降（Z軸） : 50mm/sec
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	採用磁性流體密封和過濾器的對策
耐真空度	1.33×10^-6Pa
廠務	電源 : 單相AC200V±10% 1kVA
質量	機械手臂本體大約80kg

＊上述規格參數為STVCR4190-050-AM的標準規格。
實際規格參數可能會因被搬運物和牙叉形狀而異。

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