SAL38C4HV

Name: SAL38C4HV
SKU: 93

多元材質用晶圓巡邊器

SAL38C4HV

無塵室/潔淨室

8-12吋

適用於8-12吋晶圓，可適用於多種晶圓的新型晶圓巡邊器。

可適用於矽晶圓、BG膠帶（乳白色）的矽晶圓，透明、半透明晶圓等不同材質晶圓的位置校準

使用自主研發的影像辨識感測器，採用了控制器和馬達驅動器整合到設備本體內部的一體化設計

可以根據晶圓尺寸、材質更改Spindle的直徑、形狀和材質，可以使用伯努利吸附方式

控制方式：RS232C或並列I/O通訊

不符合SEMI規格的缺口、缺邊形狀也可以提供客製化設計

能夠為Spindle增加Z軸，以滿足對晶圓進行升降的需求

晶圓重新拿起的動作對Z軸進行選擇設定

晶圓巡邊器型號	SAL38C4HV
被搬運物	SEMI規格8-12吋晶圓（透明、半透明、矽晶圓）（其他可根據特殊晶圓的形狀，材質為客戶提供靈活的客製化設計）
位置確定所需時間	定位晶圓中心 3秒（不包括晶圓的取放時間）
位置精度	晶圓中心：±0.1mm以内晶圓缺邊（缺口）：±0.1度以内
感測器	LED燈照明+影像辨識感測器的方式對晶圓邊緣進行偵測
晶圓吸附方式	指令控制的開關和通信
潔淨度	ISO標準 Class 2（驅動結構內部獨立排氣條件下）
驅動方式	採用三軸兩相步進馬達（內建馬達驅動器和控制器）
廠務	電源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上

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