AWCセンサー機能原理の説明

AWCセンサー機能原理の説明

AWC（Auto Wafer Centering）センサーは2組搭載されており、Loadportまたはチャンバーの扉の下部に設置されています。
各センサーは1つの反射鏡に対応しており、光学的な検出ペアを構成します。
 

動作原理

ウェーハがロボットアームによりチャンバーへ搬送される際、センサーの光路を通過します。
ウェーハは円形であるため、通過中に左右2組のセンサーの光を順番に遮断します。
システムは 2組のセンサーの遮光時間差 に基づいて、ウェーハがフォークの中央に位置しているかどうかを判断します。
 

判定状況－システムの判断と動作

左右のセンサー遮光時間が同じ ウェーハはチャックの中央に位置 → 補正不要
左側センサーの遮光時間が長い ウェーハが左寄り → ロボットが右方向にオフセット補償
右側センサーの遮光時間が長い Waferが右寄り → ロボットが左方向にオフセット補償
この方式により、ウェーハがチャンバーに挿入される際の中心位置を自動で補正し、ずれや衝突を防止します。
 

AWCオフセットのトレンド分析とティーチングの判断

AWCオフセットの補正量はシステムに「トレンド」として記録されます。
期間内にAWCオフセットのトレンドに大きなドリフト（補正量の継続的な増加や方向の不安定性）が見られた場合、以下の原因が考えられます：

1. センサーの位置異常
2. ロボットの誤差蓄積
3. 機構のズレや熱ドリフト

このような場合、ティーチング（再教示）を実施し、ロボットの搬送中心座標を再校正する必要があります。これにより、精度が保証されます。
 

結論

AWCの構造がシンプルでありながら、安定した搬送精度を維持するために極めて重要です。
リアルタイム補償とトレンド監視を活用することで、中心ずれによる搬送不良や装置エラーを大幅に減少させることが可能です。