エッジグリップチャック紹介

Jul 22, 2025

使用方法

エッジグリップチャックではワークの外周をチャックに取り付けられた複数の爪（タブ）で掴み（グリップ）ワークを固定します。
エッジグリップの駆動方式にはエアシリンダ方式、スプリング方式等があります。

処理面に触れることが許されないウェーハの搬送やMEMSウェーハなど、真空吸着では吸着面にストレスがかかりダメージを受ける可能性のある薄いウェーハの搬送に利用されます。

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