SCR3160CSN

3軸円筒座標型クローズドループ制御クリーンロボット

特徴: スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。; 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300 mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。; クローズドループ制御

SCR3160CSN

ISOクラス2 クリーンルーム内大気

340 mm（第３関節中心距離）

200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

4 kg（第3関節換算）

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300 mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。

クローズドループ制御のロボットに、疑似多軸仕様をラインナップしました。

走行軸なしで並列配置されたチャンバーステージへ搬送することができます。

急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上

アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮

バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載

従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能

高剛性・アーム第3関節換算3 kg (リストブロック、チャック、ワーク含む）

アームバリエーション：100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能

ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）

ロボットアーム型式	SCR3160CSN-300-CM
搬送対象物	～300 mmウェーハ（その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
ウェーハ保持方式	チャックによる真空吸着
機械構造	3軸円筒座標型
モータ	ステッピングモータ（クローズドループ）
可動範囲	ワーク中心到達距離：552.7 mm 旋回角度（θ軸）：340度上下ストローク（Z軸）：300 mm
搬送速度（平均）	アーム（R軸）：610 mm/sec 旋回角度（θ軸）：340 度/sec 上下ストローク（Z軸）：250 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム（R軸）：1220 mm/sec 旋回角度（θ軸）：500度/sec 上下ストローク（Z軸）：320 mm/sec
分解能	アーム（R軸）：10.0 µm以下旋回角度（θ軸）：0.0015度上下ストローク（Z軸）：2.0 µm
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	ISOクラス2（駆動部排気時）
ユーティリティ	電流電圧：DC24V±10% 10A 真空：-53 kPa以上
コントローラ型式	C4000Bシリーズ
通信方式	RS232C及びパラレルフォトI/O