SCR3100S

3軸円筒座標型クリーンロボット

特徴: スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズです。; 省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

SCR3100S

ISO規格クラス2 クリーンルーム内大気

200mm / 300mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

0.5 kg以下（第3関節換算）

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズです。

省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

クリーン対応：真空ラインには0.1 µmメッシュフィルター装備

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸2相ステッピングモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	SCR3100S-200-PM
リストブロック	SARS00169
チャック	3D-02535
搬送対象物	～150 mmウェーハ
ウェーハ保持方式	チャックによる真空吸着
機械構造	3軸円筒座標型
モータ	ステッピングモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：397.7 mm 旋回角度（θ軸）：340度上下ストローク（Z軸）：200 mm
搬送速度（平均）	アーム（R軸）：330 mm/sec 旋回角度（θ軸）：280 度上下ストローク（Z軸）：130 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム（R軸）：500 mm/sec 旋回角度（θ軸）：480度/sec 上下ストローク(Z軸)：170 mm/sec
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	ISO規格クラス2（駆動部排気時）
ユーティリティ	電流電圧：DC24V±10% 真空：-53 kPa以上
質量	ロボット本体約20 kg
コントローラ型式	C4000シリーズ
インタフェース	RS232C及びパラレルフォトI/O

＊本仕様は当社標準チャック（吸着タイプ）装着時の標準仕様の一例です

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