SCR3160CS

Name: SCR3160CS
SKU: 73

3軸円筒座標型クリーンロボット

SCR3160CS

ISOクラス2 クリーンルーム内大気

340 mm（第３関節中心距離）

200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm / 550 mm / 600 mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

3 kg（第3関節換算）

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。

EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

アームバリエーション：100 mm、130 mm、160 mm、200 mm

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸2相ステッピングモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	SCR3160CS-300-PM
リストブロック	SARS00169
チャック	SC-YW-240
搬送対象物	～300mm ウェーハ
ウェーハ保持方式	チャックによる真空吸着
機械構造	3軸円筒座標型
モータ	ステッピングモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：502.7 mm 旋回角度（θ軸）：340度上下ストローク（Z軸）：300 mm
搬送速度（平均）	アーム（R軸）：610 mm/sec 旋回角度（θ軸）：340度/sec 上下ストローク（Z軸）：250 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム（R軸）：1220 mm/sec 旋回角度（θ軸）：500度/sec 上下ストローク（Z軸）：320 mm/sec
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	ISOクラス2（駆動部排気時）
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 15A 真空：-53 kPa以上
質量	ロボット本体約25 kg
コントローラ型式	C4000シリーズ
通信方式	RS232C及びパラレルフォトI/O