STCR4160SN

4軸円筒座標型クリーンロボット

特徴: スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。; 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300 mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。; クローズドループステッピングモータ制御

STCR4160SN

ISOクラス2 クリーンルーム内大気

200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

3 kg（第3関節換算）

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300 mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。

急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上

アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮

バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載

従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能

アーム第3関節換算3 kg(リストブロック、チャック、ワーク含む）

アームバリエーション：100 mm、130 mm、160 mm、200 mm

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能

ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）

ロボットアーム型式	STCR4160SN-300-CM
搬送対象物	～300mm ウェーハ（その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
ウェーハ保持方式	チャックによる真空吸着
機械構造	4軸円筒座標型
モータ	ステッピングモータ（クローズドループ）
可動範囲	ワーク中心到達距離：575 mm 旋回角度（θ軸）：340度上下ストローク（Z軸）：300 mm
搬送速度（平均）	アーム(R軸)：1140 mm/sec 旋回角度(θ軸)：270度/sec 上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム(R軸)：1140 mm/sec 旋回角度(θ軸)：270度/sec 上下ストローク(Z軸)：250 mm/sec
分解能	アーム(R軸)：10.0 µm以下旋回角度(θ軸)：0.0015度上下ストローク(Z軸)：2.0 µm
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	ISOクラス2（駆動部排気時）
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 10A 真空要求：-53kPa以上
質量	ロボット本体約25 kg
コントローラ型式	C4000Bシリーズ
通信方式	RS232C及びパラレルフォトI/O

＊本仕様は当社標準チャック（吸着タイプ）装着時の標準仕様の一例です

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