STCR4160SN

4軸圓筒座標無塵室用機械手臂

特點: 適用於無塵室的4軸圓筒座標機械手臂。; 在維持高性價比和高速傳輸特性的基礎上，解決了步進馬達常見的失步問題，適用於2吋-12吋晶圓傳輸的新型雙臂機械手臂。; 使用閉迴路步進馬達。

STCR4160SN

ISO標準Class 2 無塵室/潔淨室

200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm

＊可根據設備規格需求變更設計

3kg （手臂第３關節處基準）

適用於無塵室的4軸圓筒座標機械手臂。

在維持高性價比和高速傳輸特性的基礎上，解決了步進馬達常見的失步問題，適用於2吋-12吋晶圓傳輸的新型雙臂機械手臂。

採用即使在負載發生突變或加減速過大的情況也能夠避免馬達失步現象的閉環控制方式，有效地提高了機械手臂的可靠性

馬達配備絕對值編碼器，機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置，縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位置原點的時間

絕對值編碼器為機械式，不需更換電池

可以和舊型號的本司產品相容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶對現有設備的升級改造

高強度手臂・手臂第3關節處可承受3kg力（包含牙叉固定塊、牙叉、晶圓的質量）

機械手臂標準臂長：100mm、130mm、160mm、200mm

可依裝置佈局選擇基座固定方式或法蘭固定方式

可選伯努利方式牙叉（Option）

機械手臂型號	STCR4160SN-300-CM
被搬運物	～12吋晶圓（其他可根據特殊晶圓的形狀，材質為客戶提供靈活的客製化設計）
晶圓吸附方式	真空吸附式
機械結構	4軸圓筒座標型
馬達	步進馬達（採用閉環位置控制）
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：575mm 旋轉角度（θ軸）：340度升降（Z軸） : 300mm
搬運速度（平均）	手臂（R軸）：570mm/sec 旋轉角度（θ軸）：220度/sec 升降（Z軸） : 200mm/sec
搬運速度（最大）	手臂（R軸）：1140mm/sec 旋轉角度（θ軸）：270度/sec 升降（Z軸） : 250mm/sec
精度	手臂（R軸）：10.0µm以下旋轉角度（θ軸）：0.0015度升降（Z軸） : 2.0µm
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務	電源 : DC24V±10% 10A 真空需求 : -53kPa以上
控制器型號	C4000B系列
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊

＊上述規格為本司使用標準真空吸附方式牙叉情況下的標準機械手臂規格的一個範例

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