STCR4160S

4軸円筒座標型クリーンロボット

特徴: スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。; EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。

STCR4160S

ISOクラス2 クリーンルーム内大気

200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm / 550 mm / 600 mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

3 kg（第3関節換算）

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。

EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。

アームバリエーション：100 mm、130 mm、160 mm、200 mm

ツインアームによりウェーハ交換時間の短縮

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸2相ステッピングモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	STCR4160S-300-PM
リストブロック	SART08674
チャック	SC-YW-240
搬送対象物	～300mm ウェーハ
ウェーハ保持方式	チャックによる真空吸着
機械構造	4軸円筒座標型
モータ	ステッピングモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：575 mm 旋回角度（θ軸）：340度上下ストローク（Z軸）：300 mm
搬送速度（平均）	アーム（R軸）：610 mm/sec 旋回角度（θ軸）：340度/sec 上下ストローク（Z軸）：250 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム（R軸）：1140 mm/sec 旋回角度(θ軸)：270度/sec 上下ストローク（Z軸）：250 mm/sec
分解能	アーム（R軸）：12.6µm以下旋回角度（θ軸）：0.0045度上下ストローク（Z軸）：6.25µm
搬送レベル	620 mm（ベース取付面よりチャックの搬送面まで）
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	ISOクラス2（駆動部排気時）
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 16A 真空要求：-53kPa以上
質量	ロボット本体約30 kg
コントローラ型式	C4000シリーズ
通信方式	RS232C及びパラレルフォトI/O

＊本仕様は当社標準チャック（吸着タイプ）装着時の標準仕様の一例です

関連製品