SWCR3160CS

3軸円筒座標型防水対応クリーンロボット

特徴: 防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。; 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。; 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。; 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。

SWCR3160CS

クリーンルーム内大気

200 mm / 300 mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

3 kg（第3関節換算）

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。

水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。

薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。

保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。

アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保

アーム関節部防水構造にVシール使用

部品の接合部はバイトンパッキンによりシール

Z軸部防水構造にジャバラ使用

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸2相ステッピングモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	SWCR3160CS
搬送対象物	～300mm ウェーハ
機械構造	3軸円筒座標型
モータ	2相パルスモータ
可動範囲	アーム第3関節中心：312 mm 旋回角度（θ軸）：340度上下ストローク（Z軸）：300 mm
搬送速度（平均）	アーム（R軸）：250 mm/sec 旋回角度（θ軸）：120度/sec 上下ストローク（Z軸）：70 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム（R軸）：500 mm/sec 旋回角度（θ軸）：160度/sec 上下ストローク（Z軸）：85 mm/sec
分解能	アーム（R軸）：49µm以下旋回角度（θ軸）：0.0214度上下ストローク（Z軸）：12.5µm以下
繰り返し精度	±0.2mm以内
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 15A 正圧：0.15MPa
コントローラ型式	C4000シリーズ
通信方式	RS232C及びパラレルフォトI/O

＊本仕様はSWCRエッジグリップチャックタイプ装着時の標準仕様の一例です。