SWCR3160CS

3軸圓筒座標無塵室用防水機械手臂

特點: 防水3軸圓柱座標型機械手臂SWCR3000系列（配置12吋晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構）。; 在保護等級IP64 LSI半導體生產製程條件下，能夠在酸性，鹼性環境下搬運半導體晶圓。

SWCR3160CS

無塵室/潔淨室

200mm / 300mm

＊可根據設備規格需求變更設計

3 kg （手臂第３關節處基準）

防水3軸圓柱座標型機械手臂SWCR3000系列（配置12吋晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構）。

在保護等級IP64 LSI半導體生產製程條件下，能夠在酸性，鹼性環境下搬運半導體晶圓。

手臂部分採用鐵氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關節部位防水結構使用V型密封圈

零件間的結合面採用Viton材質的密封條

Z軸的防水結構可以使用蛇腹管

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度的搬運半導體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式

可以針對搬運物體、客戶設備佈局的實際狀況提供最佳的牙叉

機械手臂型號	SWCR3160CS
被搬運物	～12吋晶圓
機械結構	3軸圓筒座標型
馬達	２相步進馬達
可動範圍	手臂第３關節：312mm 旋轉角度（θ軸）：340度升降（Z軸） : 300mm
搬運速度（平均）	手臂（R軸）：250mm/sec 旋轉角度（θ軸）：120度/sec 升降（Z軸） : 70mm/sec
搬運速度（最高）	手臂（R軸）：500mm/sec 旋轉角度（θ軸）：160度/sec 升降（Z軸） : 85mm/sec
精度	手臂（R軸）：49µm以下旋轉角度（θ軸）：0.0214度升降（Z軸） : 12.5µm以下
搬運高度	255mm（從法蘭安裝面到夾盤安裝面之間）
重複性精度	±0.2mm以內
廠務	電源：DC24V±10% 15A 正壓：0.15MPa
控制器型號	C4000系列
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊

＊測試機種：SWCR，使用邊緣夾持式牙叉