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Products
半導体・ハイテク製造向けに設計
JEL アライナ
SAL2061
エッジグリップ仕様ウェーハ用アライナ
- 特徴
- 半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。
製品紹介
製品型式
SAL2061
設置環境
クリーンルーム内大気
被搬送サイズ
150 mm
製品特徵
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。
- 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現
- 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
標準仕様
| 製品型式 | SAL2061 | ||
|---|---|---|---|
| 被搬送物 | JEIDA規格 150 mm シリコンウェーハ | ||
| 位置決め時間 | オリフラサーチ 4秒以内（持ち直し無の場合） | ||
| 位置決め精度 | センタリング：±0.3 mm以内 オリフラサーチ：±0.2度以内 |
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| センサ | 赤色LED透過式センサ | ||
| ウェーハ保持方式 | ウェーハグリップアームによるメカニカルグリップ方式 | ||
| クリーン度 | 0.1 µm/cf クラス1（駆動部排気時） | ||
| 駆動方式 | 小型ステッピングモータを各軸に使用 （モータドライバは内蔵しております） |
||
| ユーティリティ | 電源：DC24V±10％ 2A | ||
