SAL20C1

エッジグリップ仕様ウェーハ用アライナ

特徴: 半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。; エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能です。; ※ノッチサーチ後、指定位置へノッチを移動する為、持ち直し動作が入っています。

SAL20C1

クリーンルーム内大気

150 mm

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現

小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

製品型式	SAL20C1
被搬送物	300 mm シリコンウェーハ
位置決め時間	ノッチサーチ 2.5 sec（持ち直し無しの場合）
位置決め精度	センタリング：±0.3 mm以内ノッチロケート：±0.3度以内
センサ	透過式LEDセンサ
クリーン度	0.1 µm/cf クラス1（駆動部排気時）
駆動方式	2相ステッピングモータ2軸使用モータドライバ、コントローラ内蔵
ユーティリティ	電源：DC24V±10％ 2A

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