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Products
半導体・ハイテク製造向けに設計
JEL アライナ
SVAL3001
ウェーハ用真空アライナ
- 特徴
- 真空環境下におけるシリコンウェーハやサセプタ（化合物半導体、シリコンウェーハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。
製品紹介
製品型式
SVAL3001
設置環境
クリーンルーム内大気
被搬送サイズ
100 mm〜300 mm、他
製品特徵
真空環境下におけるシリコンウェーハやサセプタ（化合物半導体、シリコンウェーハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。
- 可搬質量：4 kg
- 位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本機単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUP（大気環境下に当社標準コントローラを設置する必要があります）
- 真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用
- 動作モニタ装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- インデックス機能によりトレイ内のウェーハ配置状態に合わせて任意の角度に旋回
標準仕様
| 製品型式 | SVAL3001 | ||
|---|---|---|---|
| 被搬送物 | SEMI規格 シリコンウェーハ 100 mm〜300 mm、各種サセプタ | ||
| 位置決め時間 | ノッチサーチ 4秒以内（持ち直し無の場合） | ||
| 位置決め精度 | センタリング：±0.3 mm以内 ノッチロケート：±0.3度以内 |
||
| センサ | 耐真空限定反射型センサ | ||
| 耐真空度 | 1.33x10-6Pa | ||
| 駆動方式 | 2相ステッピングモータ3軸使用 コントローラ別置（内蔵していません） | ||
| ユーティリティ | 電源：DC24V±10% 8A | ||