0
Products
High-Tech Manufacturing
JEL 晶圓巡邊器
SVAL3001
晶圓真空巡邊器
- 特點
- 能夠在真空環境下透過邊緣夾持方式對托盤（化合物半導體、矽晶圓等）進行高速、高精度的定位。
產品介紹
產品型號
SVAL3001
使用環境
無塵室/潔淨室
晶圓尺寸
4-12吋、其他
產品特點
能夠在真空環境下透過邊緣夾持方式對托盤（化合物半導體、矽晶圓等）進行高速、高精度的定位。
- 可搬運品質：4kg
- 真空環境下的感測器和本體的一體化設計，具有整合度高、易於安裝的優點（需要在大氣環境下另行設定JEL標準控制器）
- 真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
- 配置動作監視器
- 控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式
- 自動定位功能能夠根據托盤中的晶圓擺放情況，自動產生所有晶圓的位置數據
標準規格
| 晶圓巡邊器型號 | SVAL3001 | ||
|---|---|---|---|
| 被搬運物 | SEMI標準 矽晶圓 4-12吋、各種規格基座 | ||
| 位置確定所需時間 | 定位晶圓缺口 4秒（不實行重新夾持動作） | ||
| 位置精度 | 晶圓中心：±0.3mm以内 晶圓缺邊（缺口）：±0.3度以内 |
||
| 感測器 | 耐真空限定距離式反射感測器 | ||
| 耐真空度 | 1.33x10-6Pa | ||
| 驅動方式 | 3軸使用2相步進馬達 控制器外置（未整合到本體內部） | ||
| 廠務 | 電源：DC24V±10% 8A | ||