STCR4160S

4軸圓筒座標無塵室用機械手臂

特點: 無塵室用4軸圓筒座標型機械手臂STCR4000S系列。; 適用於半導體生產設備內部、偵測設備等的晶圓搬運，雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間。

STCR4160S

ISO標準Class 2 無塵室/潔淨室

200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm

＊可根據設備規格需求變更設計

3kg （手臂第３關節處基準）

無塵室用4軸圓筒座標型機械手臂STCR4000S系列。

適用於半導體生產設備內部、偵測設備等的晶圓搬運，雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間。

機械手臂標準臂長：100mm、130mm、160mm、200mm

雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

適應設備需求可以選擇底座固定方式或法蘭固定方式

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式、伯努利非接觸式

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對搬運物體、客戶設備佈局的實際狀況提供最優的牙叉

機械手臂型號	STCR4160S-300-PM
牙叉固定塊	SART08674
牙叉	SC-YW-240
被搬運物	～12吋晶圓
晶圓吸附方式	真空吸附式
機械結構	4軸圓筒座標型
馬達	步進馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：575mm 旋轉角度（θ軸）：340度升降（Z軸） : 300mm
搬運速度（平均）	手臂（R軸）：570mm/sec 旋轉角度（θ軸）：220度/sec 升降（Z軸） : 200mm/sec
搬運速度（最大）	手臂（R軸）：1140mm/sec 旋轉角度（θ軸）：270度/sec 升降（Z軸） : 250mm/sec
精度	手臂（R軸）：12.6µm以下旋轉角度（θ軸）：0.0045deg 升降（Z軸）：6.25µm
搬運高度	620mm（底座固定面到牙叉上的晶圓安裝面的高度）
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務	電源 : DC24V±10% 16A 真空需求 : -53kPa以上
質量	機械手臂本體大約30kg
控制器型號	C4000系列
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊

＊上述規格為本司使用標準真空吸附方式牙叉情況下的標準機械手臂規格的一個範例

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