SCR3160CSN シリーズ(ステッピングモータ クローズドループ）
3軸円筒座標型シングルアームクリーンロボット
設置環境
クリーンルーム内大気
シングルアーム
アーム長
100mm,130mm,160mm,200mm
昇降距離
200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます
可搬質量
3 kg (第3関節換算)
製品特徴
スーパークリーンルーム対応SCR3000CSNシリーズ
脱調しないクローズドループ制御、内蔵バッテリを必要としないアブソリュートエンコーダ、
ステッピングモータを搭載し、搬送の多様性を持たせ、優れた利便性、安全性、安定性を可能としたシリーズ。
300mmまでの各種ワーク搬送に適したシリーズ。
● 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用。
● バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載。
● オプションで擬似的な水平多関節動作が可能で、平行配置レイアウトに対応。
● 弊社旧シリーズSHR型と取り付け互換があるので、載せ替えもスムーズ。
SCR3000CSNシリーズとSCR3000CSシリーズは取り付け互換があるので、載せ替えもスムーズ。
● 可搬質量： アーム第3関節換算3kg以下。
● 制御方： RS232C及びパラレルフォトI/O。
● 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能。
● ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック。
標準仕様
ロボット型式
SCR3160CSN-300-CM
被搬送物
〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式
チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式
3軸円筒座標型
モータタイプ
ステッピングモータ（クローズドループ）
動作範囲
ワーク中心到達距離：552.7 mm
旋回角度(θ軸)：340度
Z軸行程 : 300mm
搬送速度
アーム(R軸)：610 mm/sec
旋回角度(θ軸)：340度/sec
Z軸250mm / sec
繰り返し精度
±0.1mm以內
クリーン度
ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ
電源：DC24V±10% 15A
真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量
ロボット本体 約22 kg
コントローラ型式
C4000B シリーズ
インタフェース
RS232C, パラレルフォトI/O
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
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