STCR4160S シリーズ(ステッピングモータ)
4軸円筒座標型ツインアームクリーンロボット
設置環境
クリーンルーム内大気
ツインアーム
アーム長
100mm,130mm,160mm,200mm
昇降距離
200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます
可搬質量
3 kg (第3関節換算)
製品特徴
スーパークリーンルーム対応STCR4000Sシリーズ
オープンループ制御、ステッピングモータ採用による安全性、安定性の高いシリーズ。
長年弊社標準採用タイプなので、カスタマイズ展開も容易なシリーズとなります。
300mmまでの各種ワーク搬送に適したシリーズ。
● ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮。
● 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能。
● 弊社旧シリーズSTHR型と取り付け互換があるので、載せ替えもスムーズ。
STCR4000SシリーズとSTCR4000SNシリーズは取り付け互換があるので、載せ替えもスムーズ。
● 可搬質量： アーム第3関節換算3kg以下。
● 全軸2相ステッピングモータ使用。
● 制御方： RS232C及びパラレルフォトI/O。
● 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能。
● ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック。
標準仕様
ロボット型式
SCR3160CS-300-PM
被搬送物
〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式
チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式
4軸円筒座標型
モータタイプ
ステッピングモータ
動作範囲
ワーク中心到達距離：575 mm
旋回角度(θ軸)：340度
Z軸行程 : 300mm
搬送速度
アーム(R軸)：570 mm/sec
旋回角度(θ軸)：220度/sec
Z軸 : 200mm / sec
繰り返し精度
±0.1mm以內
クリーン度
ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ
電源：DC24V±10% 16A
真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量
ロボット本体 約30 kg
コントローラ型式
C4000シリーズ
インタフェース
RS232C, パラレルフォトI/O
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
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