ベルヌーイチャックの仕組み

ベルヌーイチャックの仕組み

製品特徴

ベルヌーイ方式

• 多くのお客様のニーズにお応えし、反り・薄物ウェーハに対応した低価格チャックを開発。
• 様々なワークサイズ、形状に対応が可能です。
• ウェーハを低ストレスで保持することが可能となり、ウェーハへのダメージを最小限とします。
• ベルヌーイ方式の特徴はチャックの厚みを薄くできます。

サイクロン方式

• 直径25mm、厚さ2.5mmのサイクロンパッドを搭載。
• 様々なワークサイズ、形状に対応可能。
• ベルヌーイアライナにも対応可能。
• サイクロン方式の特徴はベルヌーイ方式と比べて強い保持力を有します。