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伯努利牙叉的原理
August 22,2025
伯努利牙叉的原理
廠務端供應之氣體於吸盤內部圓筒狀側面的噴口高速噴出，在吸盤內部的筒狀空間內形成旋轉氣流並形成負壓（旋風效應）。上述氣流通過牙叉和晶圓表面之間之間隙吹出。氣流在旋風吸盤和晶圓之間的空間中形成穩定的氣流以造成晶圓上下表面間的壓力差以將晶圓吸附住。特點
根據用途可以選擇伯努利牙叉或旋風式伯努利吸盤式牙叉。伯努利式
- 適用於翹曲或較薄晶圓（晶圓厚度0.2mm以下）。
- 適用於各種大小晶圓及翹曲等特殊情況之晶圓。
- 能夠降低吸附過程中晶圓所承受之應力，降低對晶圓造成損傷的機率。
- 伯努利方式設計可製作厚度更薄的牙叉。
旋風式伯努利吸盤式
- 使用直徑25mm，厚度2.5mm的旋風式伯努利吸盤。
- 適用於各種大小晶圓及翹曲等特殊情況之晶圓。
- 搭配限位塊使用時晶圓背面無接觸。
- 相對於一般型態伯努利牙叉具有較大吸力，取放晶圓更加精確。
