クリーンルーム等級対応表（ISO / FED STD / GMP）

クリーンルーム等級	ISO 14644-1			FED STD 209E	EU GMP等級 （運転中）	粒子数基準 （≧0.5µm）
超クリーン	ISO クラス 1			-	-	≦10 個/m3
非常にクリーン	ISO クラス 2			-	-	≦100 個/m3
超高等級	ISO クラス 3			クラス 1	-	≦1,000 個/m3
高等級	ISO クラス 4			クラス 10	A	≦10,000 個/m3
中等級	ISO クラス 5			クラス 100	B	≦100,000 個/m3
一般的な等級	ISO クラス 6			クラス 1,000	C	≦1,000,000 個/m3
基本等級	ISO クラス 7			クラス 10,000	D	-
最低等級	ISO クラス 8			クラス 100,000	-	-

※粒子サイズと用途の対応表
粒子サイズ 用途例・説明
≥0.5μm 半導体製造・光学組立の標準基準
≥0.3μm 医療機器・製薬分野の高クリーン度要求
≥5μm GMPに基づく製薬業界の一般的な管理対象粒子

※備考
ISO 14644-1：国際的なクリーンルームの標準。現在の主流規格であり、半導体・光電・製薬など多くの業界で使用。
FED STD 209E：アメリカの旧規格。ISO規格に置き換えられているが、いまだ一部の業界では使用例あり。
EU GMP 分類：製薬業界でのクリーンルーム管理に使用されるグレード分類（A〜D）。動的環境での基準を記載。