MTCR4200

4軸円筒座標型クリーンロボット

特徴: スーパークリーンルーム用300 mm対応MTCRシリーズ。; EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。; 全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。; 従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。; CEマーキング認証取得しました。; アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

MTCR4200

クリーンルーム内大気

300mm / 400mm / 500mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

スーパークリーンルーム用300 mm対応MTCRシリーズ。

EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。

全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。

従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。

CEマーキング認証取得しました。

アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

アームバリエーション：160 mm、200 mm

ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮ができ、タクトタイムの向上が可能

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

＊仕様につきましてはお問合せ下さい。

関連製品