MCR3160C

3軸円筒座標型クリーンロボット

特徴: スーパークリーンルーム用300 mm対応MCR3000Cシリーズ。; EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。; 全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。; 従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。; アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

MCR3160C

ISOクラス2 クリーンルーム内大気

300mm / 400mm / 500mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

4 kg（第3関節換算）

スーパークリーンルーム用300 mm対応MCR3000Cシリーズ。

EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。

全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。

アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

アームバリエーション：160 mm、200 mm

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	MCR3160C-300-AM
搬送対象物	～300mm ウェーハ
ウェーハ吸着方式	真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
機械構造	3軸円筒座標型
モータ	ACサーボモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：567.7 mm 旋回角度(θ軸)：340度上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度（平均）	アーム(R軸)：1000 mm/sec 旋回角度(θ軸)：360 度上下ストローク(Z軸)：350 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム(R軸)：1800 mm/sec 旋回角度(θ軸)：580度/sec 上下ストローク(Z軸)：530 mm/sec
分解能	アーム(R軸)：9.82 µm以下旋回角度(θ軸)：0.0015度上下ストローク(Z軸)：1.96 µm
搬送レベル	639 mm（ベース取付面よりチャックの搬送面まで）
繰り返し精度	±0.1mm以内
クリーン度	ISOクラス2以下（駆動部排気時）
ユーティリティ	電流電圧：単相 AC200V±10% 3kVA 真空：-53 kPa以上（吸着チャック取付の場合）
コントローラ型式	C5000Sシリーズ
インタフェース	RS232C及びパラレルフォトI/O

＊本仕様は当社標準チャック（吸着タイプ）装着時の標準仕様の一例です

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