MTCR4200

4軸圓筒座標無塵室用機械手臂

特點: MTCR系列適用於12吋晶圓，可應用於無塵室。; 可在EFEM、半導體製造設備、偵測設備等中高速輸送晶圓。; 全軸採用AC伺服馬達，除了晶圓外，還可以輸送托盤、小型玻璃基板和其他物品。; 與傳統的MTHR型號相比，它具有更高的性價比。; 已通過CE認證。; 採用帶有絕對編碼器的伺服馬達，無需返航。

MTCR4200

無塵室/潔淨室

300mm / 400mm / 500mm

＊可根據設備規格需求變更設計

專為半導體生產線或偵測線上的晶圓搬運而設計。

採用AC伺服馬達實現高速搬運，與MTHR型相比，性價比更高。

使用具有絕對式編碼器的伺服馬達，無需返航。

臂長規格：160 mm、200 mm

雙臂設計可縮短晶圓更換時間並提高效率

適應設備需求可以選擇底座固定方式或法蘭固定方式

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用絕對值編碼器規格的AC伺服馬達

透過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的最佳化

晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式、伯努利非接觸式

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉

＊請聯絡我們以取得詳細規格

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