MCR3160C

3軸圓筒座標無塵室用機械手臂

特點: 無塵室用300mm晶圓對應MCR3000C系列。; 適用於半導體生產設備內部、檢測設備等的晶圓搬運。; 全軸採用AC伺服馬達滿足高速搬運的需求。; 比MHR系列有更好的性價比優勢。

MCR3160C

ISO標準Class 2 無塵室/潔淨室

300mm / 400mm / 500mm

＊可根據設備規格需求變更設計

4kg （手臂第３關節處基準）

無塵室用300mm晶圓對應MCR3000C系列。

適用於半導體生產設備內部、檢測設備等的晶圓搬運。

全軸採用AC伺服馬達滿足高速搬運的需求。

比MHR系列有更好的性價比優勢。

機械手臂標準臂長：160mm、200mm

適應設備需求可以選擇底座固定方式或法蘭固定方式

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用絕對值編碼器規格的AC伺服馬達

S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度的搬運半導體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式、伯努利微接觸式

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類，設備佈局等要求提供最優的牙叉

機械手臂型號	MCR3160C-300-AM
被搬運物	～12吋晶圓
晶圓吸附方式	真空吸附式、下托式、邊緣夾持式
機械結構	3軸圓筒座標型
馬達	AC伺服馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：567.7mm 旋轉角度（θ軸）：340度升降（Z軸） : 300mm
搬運速度（平均）	手臂（R軸）：1000mm/sec 旋轉角度（θ軸）：360度/sec 升降（Z軸） : 350mm/sec
搬運速度（最大）	手臂（R軸）：1800mm/sec 旋轉角度（θ軸）：580度/sec 升降（Z軸） : 530mm/sec
精度	手臂（R軸）：9.82µm以下旋轉角度（θ軸）：0.0015度升降（Z軸） : 1.96µm
搬運高度	639mm（底座固定面到牙叉上的晶圓安裝面的高度）
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務	電源 : 單相AC200V±10% 3kVA 真空需求 : -53kPa以上(使用真空吸附式牙叉)
質量	機械手臂本體大約37kg
控制器型號	C5000S系列
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊

＊上述規格為本司使用標準真空吸附方式牙叉情況下的標準機械手臂規格的一個範例

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