STWCR4160

4軸円筒座標型防水対応クリーンロボット

特徴: 防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWCR4000シリーズです（300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。; 保護等級IP64における酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。

STWCR4160

クリーンルーム内大気

300mm

3 kg以下（第3関節換算）

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSTWCR4000シリーズです（300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。

保護等級IP64における酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。

アームバリエーション：160 mm、200 mm

アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保

アーム関節部防水構造にVシール使用

部品の接合部はバイトンパッキンによりシール

Z軸部防水構造にジャバラ使用

ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸2相ステッピングモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	STWCR4160-300-PM
搬送対象物	～300mm ウェーハ
機械構造	4軸円筒座標型
モータ	2相パルスモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：315 mm 旋回角度（θ軸）：340度上下ストローク（Z軸）：300 mm
搬送速度（平均）	アーム（R軸）：280 mm/sec 旋回角度（θ軸）：90度/sec 上下ストローク（Z軸）：90 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム（R軸）：550 mm/sec 旋回角度（θ軸）：120度/sec 上下ストローク（Z軸）：120 mm/sec
分解能	アーム（R軸）：126 µm以下旋回角度（θ軸）：0.0045度上下ストローク（Z軸）：6.25 µm以下
繰り返し精度	±0.2mm以内
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 11A 正圧：0.15 MPa
コントローラ型式	C4000シリーズ
通信方式	RS232C及びパラレルフォトI/O

＊本仕様はエッジグリップチャック装着時の標準仕様の一例です

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