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步進馬達
STWCR4160
4軸圓筒座標無塵室用防水機械手臂
- 特點
- 防水4軸圓筒座標型機械手臂STWCR4000系列（配備300mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構）。
- 能夠在酸性、鹼性霧氣環境下搬運半導體晶圓。
產品介紹
型號名稱
STWCR4160
使用環境
無塵室/潔淨室
升降軸最大行程（Z軸）
300mm
可搬運質量
3 kg以下 （手臂第３關節處基準）
產品特點
防水4軸圓筒座標型機械手臂STWCR4000系列（配備12吋晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構）。
能夠在酸性、鹼性霧氣環境下搬運半導體晶圓。
- 機械手臂標準臂長：160 mm、200 mm
- 手臂部分採用鐵氟龍鍍層保證耐腐蝕性
- 手臂關節部位防水結構使用V型密封圈
- 零件間的結合面採用Viton材質的密封條
- Z軸的防水結構可以使用蛇腹管
- 雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
- 配置動作監視器
- 控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式
- 全軸採用２相步進電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度地搬運半導體晶圓
- 晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式
- 可以針對搬運物體、客戶設備佈局的實際狀況提供最優的牙叉
標準規格
| 機械手臂型號 | STWCR4160-300-PM | ||
|---|---|---|---|
| 被搬運物 | ～12吋晶圓 | ||
| 晶圓吸附方式 | 真空吸附式 | ||
| 機械結構 | 4軸圓筒座標型 | ||
| 馬達 | 2相步進馬達 | ||
| 可動範圍 | 手臂地３關節中心：315mm 旋轉角度（θ軸）：340度 升降（Z軸） : 300mm |
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| 搬運速度（平均） | 手臂（R軸）：280mm/sec 旋轉角度（θ軸）：120度/sec 升降（Z軸） : 120mm/sec |
||
| 搬運速度（最大） | 手臂（R軸）：550mm/sec 旋轉角度（θ軸）：120度/sec 升降（Z軸） : 120mm/sec |
||
| 精度 | 手臂（R軸）：126 µm以下 旋轉角度（θ軸）：0.0045度 升降（Z軸） : 6.25 µm以下 |
||
| 重複性精度 | ±0.2mm以內 | ||
| 廠務 | 電源 : DC24V±10% 11A 正壓：0.15 MPa |
||
| 控制器型號 | C4000系列 | ||
| 通訊方式 | RS232C及並列I/O通訊 | ||
＊本規格機種：STWCR4160-300-PM，使用邊緣加持式牙叉
